MATERIALS SCIENCE IN SEMICONDUCTOR PROCESSING
收录数据库：SCIE; EI; WANFANG; SCOPUS
ISSN：13698001
ESI学科：MATERIALS SCIENCE
研究方向：
出版社：ELSEVIER SCI LTD
国家/地区：THE BOULEVARD, LANGFORD LANE, KIDLINGTON, OXFORD OX5 1GB, OXON, ENGLAND
中科院分区：
工程：电子与电气(3区) ;
材料科学：综合(4区) ;
物理：应用(4区) ;
物理：凝聚态物理(4区) ;
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